Entwicklung und Fertigung von innovativen Anlagen für nasschemische Prozesse in der Oberflächentechnik, von automatischen Systemen für unterschiedliche Branchen, von effizienten Anlagen zur Aufbereitung von Silizium sowie Sonderanlagen
Plasma-Oberflächentechnik: Plasmareinigung/Feinreinigung von verschmutzten Bauteilen, Plasmaaktivierung von Kunststoffteilen, Ätzung von PTFE, Silizium, Beschichtung von Kunststoffteilen mit PTFE-ähnlichen Schichten
Herstellung von Niederdruckplasmaanlagen sowie moderne Verfahren zur Oberflächenmodifizierung wie Plasmaaktivierung, Plasmareinigung, Plasmaätzung und Plasmabeschichtung
Herstellungsmaschinen, -anlagen und -linien für kristalline und Dünnschicht-Photovoltaikmodule, insbes. für Waferreinigung, Ätz- und Beschichtungsprozesse, CD-/DVD-Herstellungsmaschinen
